Mode
A cota |
HCMS-800 | HCMS -1000 | HCMS -1212 |
900*1000mm | 1100*1000mm | 1250*1200 mm | |
Modo de revestimento e modo principal |
Seis objectivos multi-arc + um conjunto de metas de coluna + um conjunto de metas de pulverizaça ̃ o magnetron retângulo de avião |
Oito metas multi-arc + um par de duplo (MF)magnetron alvos de pulverizaça ̃ o |
Doze multi-alvos arco + de dois conjuntos de retângulo de plano de metas de pulverizaça ̃ o magnetron+ um par de duplo (MF)magnetron alvos de pulverizaça ̃ o |
Fonte de alimentação | Potência de arco eléctrico, magnetron DC power, MF, alimentação de energia do filamento magnetron, pulso de energia, fonte ionizada linear. | ||
Controle de gás de processo | Debitómetro de qualidade + electromagnetismo válvula cerâmica | ||
Estrutura da câmara de vácuo | Único vertical(lado), porta do sistema da bomba de água duas vezes postposition-refrigeração | ||
Sistema de Vácuo |
Bomba molécula +Raízes + bomba bomba mecânica(5.0*10-5
Pa)
Bomba de difusão +Raízes + bomba bomba mecânica(5.0*10-4 Pa) |
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Temperatura de cozedura da peça |
A temperatura normal para 350 centi-grau de controle PID, radiação aquecimento. |
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Modo de movimento da peça | Controlo de frequência de rotação público: 0-20 rotação por minuto | ||
Modo de medição | Number display indicador de vácuo composto: da atmosfera para 1.0*10-5 Pa | ||
Modo de controlo | Manual/Automático/PC/PLC + IHM/PC quatro opções de modo de controlo | ||
Observação | Podemos projetar a dimensão do equipamento conforme exigência técnica especial do cliente. |