Venda por grosso de Alta Pureza preço de fábrica 10L 6kg 99,9% gás CF4

N ° de Modelo.
99.9%
etiqueta
gás não inflamável
ficheiro mol
75-73-0.Mol
descrição geral
gás incolor/não inflamável
nome de envio
tetrafluorometano
classe de perigo
2.2
número un
1982
Pacote de Transporte
Cylinder
Especificação
1.603g/cm3(-128º C) 27.330(cm· mol)
Marca Registrada
RM/OEM
Origem
Qingdao, China
Código HS
2826199090
Capacidade de Produção
1000 PCS Per Month
Preço de referência
$ 18.00 - 85.50
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Descrição de Produto

Aplicação do SF4:
Tetrafluoride de carbono é a maior quantidade de gás do ataque de plasma na indústria microelectrónica actualmente. É uma mistura de gases de alta pureza e oxigénio de elevada pureza de carbono tetrafluoride. Ele pode ser amplamente utilizado na gravação de silício, dióxido de silício, nitreto de silício, vidro de silício de fósforo e materiais de filme de tungsténio.
De silício e sistemas de dióxido de silício, a selectividade das 45:1 pode ser obtido ajustando a relação entre os dois gases quando usando o ataque de iões reactivos do cf4-H2, o que é muito útil para gravar o filme de dióxido de silício na porta de silício policristalino.

É também largamente utilizado na limpeza da superfície de dispositivos eletrônicos, produção de células solares, a tecnologia laser, fase gasosa isolamento, refrigeração criogénicos, teste de vazamento de agente, controlo da atitude de foguete espacial e detergente no circuito de impressão de produção.

  COA do gás CF4
O ponto Index
CF4, %(V/V)≥ 99,999 99,995 99.99
N2, 10-6(V/V) ≤ 4 20 40
O2, 10-6(V/V) ≤ 1 5 10
CO2, 10-6(V/V) ≤ 1 5 10
CO, 10-6(V/V) ≤ 0.3 0.5 1
SF6, 10-6(V/V) ≤ 1 1 5
H2O, 10-6(V/V) ≤ 1 5 10
HF, 10-6(V/V) ≤ 0.1 0.3 0.3
A CTF(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤ 1 10 30
O total de impurezas, ppm (V/V) ≤ 10 50 100

CF4 Especificação
O parâmetro
Ensaio crítico 		Unidade Empresa
Especificação 		Análise
Resultados 		Método de análise
Tetrafluormetano - (CF4) % (V/V) 99,999% Min >99,999% F. Schockweiler
(S de oxigênio2) V.ppm <1.0 <0,2 F. Schockweiler
Azoto (N2) V.ppm <1.0 <0,6 F. Schockweiler
Monóxido de carbono (CO) V.ppm <0,5 <0,2 F. Schockweiler
O dióxido de carbono (CO2) V.ppm <0,5 <0,2 F. Schockweiler
O hexafluoreto de enxofre (SF6) V.ppm <0,2 <0,1 F. Schockweiler
Trifluormetano(CHF3) V.ppm <0,5 <0,1 F. Schockweiler
Outros Halocarbon(OFC)* V.ppm <1.0 <0,7 F. Schockweiler
De hidrocarbonetos totais (THC)* V.ppm <0,5 <0,1 F. Schockweiler
A humidade(H2O) V.ppm <0,5 <0,2 Analisador de humidade
A acidez(como IC) V.ppm <0,1 <0,08 Analisador de acidez
Conteúdo total de impurezas V.ppm ≤10.0 <10,0 F. Schockweiler
Particale(>0.1Μm) Pcs/litro <10,0 <1.0 ICP-MS

Wholesale Factory Price High Purity 10L 6kg 99.9% CF4 Gas
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