Modo
Dimensión |
HCCA-1215 | HCCA-1612 | HCCA-1619 |
1250*1500m m | 1600*1200m m | 1600*1900m m | |
Fuente de energía | Potencia del arco voltaico, potencia del magnetrón de la C.C., potencia del magnetrón de la frecuencia intermedia, potencia del filamento, potencia del pulso, fuente ionizada linear | ||
Control de gas de proceso | Flujómetro de la calidad + válvula de cerámica del electromagnetismo | ||
Estructura del compartimiento de vacío | Vertical escoger la puerta (lateral), posposición del sistema de bomba, refrigeración por agua doble | ||
Limpiar el sistema con la aspiradora |
Bomba de la bomba +Mechanical de la bomba +Roots de la molécula (PA de 5.0*10 -5)
Bomba de la bomba +Mechanical de la bomba de difusión +Roots (PA de 5.0*10 -4) |
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Temperatura de cocción del objeto |
Temperatura normal al control del PID de 350 centi-grados, calefacción de la radiación |
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Modo del movimiento del objeto | Control de frecuencia público de la rotación: 0-20 rotación por minuto | ||
Modo de la medida | Calibrador de vacío compuesto de la visualización del número: de la atmósfera al PA de 1.0*10 -5 | ||
Modo de control | Manual/opción de Automatic/PC/PLC + de HMI/PC cuatro del modo de control | ||
NOTA | Podemos diseñar la dimensión del equipo según el requisito especial de la técnica del cliente |