Los contaminantes | Especificaciones |
El dióxido de carbono | ≤ 1,0 ppm |
Los clorosilanos | ≤ 0,2 ppm |
Silanes superior | ≤5.0 ppm |
El nitrógeno | ≤ 2,0 ppm |
El oxígeno+Argón | ≤ 1,0 ppm |
Silano | ≤500,0 ppm |
Siloxanes | ≤5.0 ppm |
El THC (como el metano) | ≤ 1,0 ppm |
El agua | ≤ 1,0 ppm |