Nombre del producto | Diclorosilano |
Tipo | SiH2Cl2 |
Pureza | n3,0 |
Especificaciones del cilindro | 40L |
Contenido de relleno (20 °C) | 37kg |
Tipo de válvula | DISS636 |
Aplicaciones | Semiconductor: Utilizado en la producción de comprimidos epitaxiales, fibra óptica materias primas importantes, afectan directamente el rendimiento de los circuitos integrados, la integración, el rendimiento. |
Elementos | Composiciones | Símbolos | Valor | Unidades |
Pureza (GC) | SiH2Cl2 | ≥ | 99,9 | % |
Impurezas de gas | O2+Ar | ≤ | 1 | ppm |
N2 | ≤ | 1 | ppm | |
CO | ≤ | 1 | ppm | |
CO2 | ≤ | 1 | ppm | |
Impurezas del donante | P | ≤ | 0,20 | ng/g |
Como | ≤ | 0,05 | ng/g | |
Impurezas aceptoras | B | ≤ | 0,20 | ng/g |
Al | ≤ | 0,10 | ng/g | |
Impurezas metálicas | CR | ≤ | 0,50 | ng/g |
Fe | ≤ | 1,00 | ng/g | |
Ni | ≤ | 0,50 | ng/g | |
Cu | ≤ | 0,50 | ng/g | |
Zn | ≤ | 0,50 | ng/g | |
Co | ≤ | 0,20 | ng/g | |
Na | ≤ | 0,50 | ng/g |